半导体车间在选购加湿机时，应考虑以下几个关键因素：

1. 湿度控制精度：半导体制造对环境湿度有严格要求，通常需要控制在一定的范围内。因此，选购的加湿机应具备高精度的湿度控制能力。

2. 加湿方式：半导体车间通常采用纯净水或蒸馏水加湿，以避免杂质对生产过程的影响。因此，应选择能够提供纯净水加湿的设备。

3. 加湿量：根据车间的面积和所需湿度，计算出所需的加湿量。选购的加湿机应能满足车间的加湿需求。

4. 运行稳定性：半导体制造过程中，任何环境波动都可能影响产品质量。因此，选购的加湿机应具有良好的稳定性和可靠性。

5. 维护和清洁：为了保证加湿机的长期稳定运行，应选择易于维护和清洁的设备，以避免因清洁不彻底而产生杂质。

6. 控制系统：现代半导体车间通常采用自动化控制系统，因此选购的加湿机应能够与车间的控制系统兼容，实现自动调节和监控。

7. 品牌和售后服务：选择知名品牌和提供良好售后服务的供应商，以确保设备的质量和出现问题时能够及时得到技术支持。

8. 节能和环保：考虑加湿机的能效比和环保性能，选择节能减排的设备。

在选购加湿机时，应综合考虑以上因素，并结合车间的具体需求和预算，选择最适合的加湿设备。